Projectos de I&D
Consulta de projectos homologados
Concurso de Projectos de Investigação Científica e Desenvolvimento Tecnológico em todos os Domínios Científicos - 2010
Estruturas MEMS de filmes finos de silício com excitação de ressonância de modos vibracionais em volume para aplicações em RF MEMS integraveis com circuitos CMOS (RF-MEMS)
PTDC/CTM-NAN/122226/2010
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Área Científica Principal
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Ciência e Engenharia dos Materiais - Nanomateriais, Síntese e Dispositivos Funcionais
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Palavras Chave
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MEMS Dispositivos microelectromecânicos
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Filmes finos de silício amorfo e nanocristalino
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Micro e nanofabricação em Sala Limpa
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Electromechanical characterization
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Financiamento
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146 444,00
Instituição do projecto não encontradas